Shanghai AfaPa Vacuum Equipment Co., ltd
FDS型分子泵機(jī)組是分子泵與前級(jí)干泵或雙級(jí)旋片泵串聯(lián),前級(jí)管路、真空閥門分子泵電源,控制電源及測(cè)量復(fù)合真空計(jì)等組裝于機(jī)架而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。
應(yīng)用領(lǐng)域
可廣泛用于表面分析,加速器技術(shù),半導(dǎo)體設(shè)備,等離子體技術(shù),電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。
性能特點(diǎn)
安裝方便,操作簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)緊湊,
性能可靠,真空度高,噪音低
技術(shù)性能